از بخار برای باکتری کشی و میکروب زدایی استفاده میشه. ماشین های ظرفشویی دو نوع معمولی و بخار هستن. برنامه Steam در بعضی از مدلها، ظرفها رو با بخار میشوره. به این ترتیب دستگاه در مدت زمان طولانی با دمای 70 درجه شروع به شستشوی ظروف می کنه. در بعضی از مدلها این کار با زمان کمتر و دمای بیشتر انجام میشه.